事業内容

各種真空装置の開発・設計・製造および販売

主要製品・技術・生産品目

真空蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置・真空エッチング装置・プラズマCVD装置・真空治金装置・その他真空装置

主要保有設備

光学用多層膜真空蒸着装置・多目的イオンプレーティング装置・実験用スパッタリング装置・実験用イオンプレーティング装置・実験用プラズマ重合装置・光学用全自動膜圧制御装置・分光光度計・マスフィルター型ガス分析計・電子顕微鏡・ネットワークアナライザー・十層式超音波洗浄装置・リークディテクター・三次元測定器・電離真空計